條件平台

儀器型號： Hitachi S-3400N-Ⅱ
儀器的基本信息：
儀器名稱：掃描電子顯微鏡
英文名：Scanning Electron Microscope
型號：Hitachi S-3400N-Ⅱ
產地：日本
儀器的用途：
Hitachi S—3400N型掃描電子顯微鏡，主要用於對材料的微觀形貌、組織和成分進行有效分析。
3.儀器的性能指標：
1）分辨率
二次電子探頭：≤3.0 nm（在30kV，高真空模式)，≤10 nm（在3 kV，高真空模式)；被散射探頭：≤4.0 nm（在30kV，低真空模式)。
2）加速電壓：0.3kV～30kV連續可調。
3）放大倍數：最低倍率5倍，最高倍率300,000倍。
4）真空係統
①具有低真空功能，高低真空切換，不需要安裝壓差光闌；
②真空度：高真空不低於0.1 mPa；低真空（壓力範圍）：10 Pa—270 Pa；
5）電子光學係統
①電子槍：鎢燈絲，具有自動偏壓+4級偏壓功能；
②聚光鏡光闌完全安裝在長內襯管內，可自行更換聚光鏡光闌。
6）樣品室和樣品台
①樣品台尺寸：裝載直徑≥200 mm樣品；
②樣品台（五軸樣品台，2軸馬達驅動功能）；
③ 行程：X=100 mm；Y=50 mm；Z=50 mm；R=3600；T=-20～+900；
6）探測器及成像係統
① 二次電子探測器：二次電子像；高靈敏5分割背散射電子探測器：成分像、形貌像和三維像；
②成像模式：同時得到二次電子像，背散射電子像，兩種圖像混合像；